Noch kleiner, noch schneller, noch besser: Technologie Trends ...

Dipl. Ing. Helmut Schettler

Technologie-Verbesserungen geben im Wesent- lichen den Geschwindigkeitszuwachs beim Bau von Mikroprozessoren an. Kupferverdrahtung, Silicon-on-Insulator und neueste Silizium Germanium Technologien werden vorgestellt.

Wie kann man mit Licht, dessen Wellenlänge doppelt so groß ist wie die abzubildenden Strukturen, Lithographieprozesse durchführen? Wie werden neue Technologien praktisch umgesetzt? Wo liegen die Grenzen der heutigen Silizium-Technologie und wann sind sie erreicht?